XD Laser激光干涉仪是API公司的专利产品，一次安装即可以测得6个参数，包括1个位置度误差，2个直线度误差和3个角度误差。通常需要几天进行测试的数据，使用API激光干涉仪只需要几个小时即可完成，实际应用结果表明，可节省时间高达80%。

XD Laser激光干涉仪体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上，XD Laser 6D激光干涉仪主要由稳频激光器，干涉镜和6D传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射菱镜反射后返回干涉仪与参考光束相干涉产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子计数，记录精确长度位置。第二束光作直线度测量的参考光束，传感器和参考光束之间的相对位移由装载传感器内的横向光电二极管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差（俯仰角和偏摆角）。

为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降到最小，从而保证测量仪的长期稳定性，测量仪配有自动气压，环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到最低。

精确的数据采集

实时的误差测量确保了数据采集的正确性以及高精度的误差分析，自动的数据采集技术，简化了数据采集的过程。

仪器的溯源性

API公司XD系列激光干涉仪的各项参数（线性、直线度、角度）都是溯源到国家和国际标准上的，这些精度都经过美国国家标准局（NIST），中国计量科学研究院和德国PTB等机构的检验。

连续生产与零故障方案

为了避免突发停机、停产，API公司为现代化的机加工车间提供完全测量解决方案，也就是零故障方案。

长期以来，车间管理人员一直以1D激光测量系统来绘制机床误差图及进行校准。而这样一来，想要测量完整的21项，则需要进行21到24次单独的安装调试，而且每一轴的每一次测量都需要1-2小时时间，因此，整个机床的测量过程通常要占用两到三个工作日，这就使得机床长时间处于停工状态，严重影响了车间的利润率和生产能力，采用API公司的XDLaser激光干涉仪就完全避免了上述缺陷，使得对机床的测量快捷、简便。

XD Laser激光干涉仪的组成

XD Laser激光干涉仪是在LMS激光干涉仪的基础上进行了改进，将控制箱集成到激光头里，将原先的有线数据传输改为全程无线数据传输。因此，XD Laser激光干涉仪是由激光头、传感器、气象站、笔记本电脑和连接整个系统的电缆组成。

携带方便、操作简单

全套系统重量仅为15千克，可以装入一个小型工具箱内，由于采用了紧凑型设计，XD Laser激光干涉仪体积小，测量机床时无需使用三脚架，使测量基准与机床的加工基准保持一致，简化了测量程序（免拆机床护罩），集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间，提高了机床使用效率。

XD Laser激光干涉仪的具体应用

API激光干涉仪安装简单，光路调整快捷，使用者容易掌握，使用时，激光器可以快速磁性固定在机床工作台上，而无需拆除机床的护罩，6D传感器可以方便的固定在机床主轴卡头上，在做不同轴向测量时，激光器不许重新装配，只需插入90度反光镜即可（见图1、2、3），使测量过程更为简便。

API激光干涉仪使用一个基于WINDOWS系统的多功能软件包，提供一套完整的测量程序，此程序极大的简化了操作过程。数据采集与分析均可方便获得。测量坐标轴之间的垂直度时，只需用五角菱镜代替90度反光镜即可（见图5、6）。

另外，API公司的激光干涉仪还可以方便的测量机床导轨的平行度，平板的平面度，旋转工作台的角度以及对角线测量等。（见图4、7、8、9）。

与其它激光干涉仪相比，API公司的XD Laser激光干涉仪有体积小、重量轻、价格低、操作时不易出错等优势。